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01.产品特点
●通过更换传感器就可以检测多种气体的半导体材料气体检测器 ●传感器经过校准和交付,无需现场气体校准。此外,无需工具即可轻松更换传感器 ●小巧·轻便的设计 ●通过LCD显示屏轻松了解气体浓度,报警状态和错误信息 ●采样流量的自动控制功能 ●当插入与设置不同的传感器时,传感器具有防止错误插入的功能 ●通过连接PDA,可以获取存储在检测单元中的数据 ●转换器单元(选件)可用于检测NF3和CCl2 ●符合CE标准 ●符合SEMI标准 02.连接方式 03.产品参数 04.对应气体一览表 [详细介绍] |